CLEANROOM CERTIFICATION TESTクリーンルーム清浄度測定

クリーンルーム清浄度測定

半導体製造工場、医療機器製造工場においては、空気中の微粒子が製品の品質に大きく影響し、 清浄空間での作業が必要とされます。
このような工業品の製造工程で用いられるクリーンルームを工業用クリーンルームといい定期的にその性能の維持管理が必要とされています。
弊社ではクリーンルームの維持管理を確認するため、各規格に基づいた清浄度測定、クリーンルームとルーム外との室間差圧測定等の点検業務を承っております。

清浄度クラス

清浄度クラス(N) 上限濃度(個/㎥)
測定粒径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス1 10 2        
クラス2 100 24 10 4    
クラス3 1000 237 102 35 8  
クラス4 10000 2370 1020 352 83  
クラス5 100000 23700 10200 3520 832 29
クラス6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
クラス7       352000 83200 2930
クラス8       3520000 832000 29300
クラス9       35200000 8320000 293000
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清浄度測定
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空間差圧測定

圧縮空気清浄度測定

圧縮空気は様々な業界で広く利用されており、その規格はJISB8392に規格が定められています。

この規格では圧縮空気の主要な不純物として、①粒子、②湿度及び水分、③オイルを挙げており、これらは圧縮空気システムの配管系内で、互いに影響を及ぼしたり、または凝縮したりします。

また清浄等級は存在しないものの、④ガス状汚染物質、⑤微生物汚染物質についても規格があります。

弊社にてこれら規格に基づく測定を行うことが可能です。測定を行うに当たっては、清浄等級により測定時間、コストも大きく異なりますので、一度ご相談下さい。

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圧縮空気中のオイルミスト測定
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圧縮空気中のオイル蒸気及び有機溶剤測定
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圧縮空気中の微生物測定
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圧縮空気中の固体粒子測定
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圧縮空気中の露点測定
粒子の圧縮空気の清浄等級
等級 粒子径d(μm)に対応した1m³当たりの最大粒子数
  0.1<d≦0.5 0.5<d≦1.0 1.0<d≦5.0
0 等級1よりきびしい条件で、使用者又は納入業者が指定する。
1 ≦20,000 ≦400 ≦10
2 ≦400,000 ≦6,000 ≦100
3 規定しない ≦90,000 ≦1,000
4 規定しない 規定しない ≦10,000
5 規定しない 規定しない ≦100,000
等級 質量濃度Cp(mg/m³)
6 0 < Cp ≦ 5
7 5 < Cp ≦ 10
湿度及び水分の圧縮空気の清浄等級
等級 圧力露点 ℃
0 等級1よりきびしい条件で、使用者又は納入業者が指定する。
1 ≦-70
2 ≦-40
3 ≦-20
4 ≦+3
5 ≦+7
6 ≦+10
等級 水分濃度 Cw(g/m³)
7 Cw ≦ 0.5
8 0.5 < Cw ≦ 5
9 5 < Cw ≦ 10
オイルの圧縮空気の清浄等級
等級 オイル(液状オイル、オイルミスト及びオイル蒸気) 総濃度 (mg/m³)
0 等級1よりきびしい条件で、使用者又は納入業者が指定する。
1 ≦0.01
2 ≦0.1
3 ≦1
4 ≦5

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